閥門材質(zhì)：

閥門主體

6061-T6鋁

軸封

[DN40-80] 鋁; [DN100-500] 304SS

支架

6061-T6/ PEEK

密封件

氟橡膠

閥門密封方式：

高真空

氟橡膠

漏率

<2×10-9 mbar l/s

差壓關(guān)閉

1 bar

真空：

壓力范圍

高真空1x10-7 mbar

漏率

< 2x10-9  mbar l/S

差壓關(guān)閉

1.6 bar (任意位置)

開啟前**大壓力

≤ 30 mbar

烘烤溫度（不含電磁閥）：

閥門主體

120 °c

驅(qū)動方式

80 °c

使用壽命：400,000啟閉次數(shù)

公稱通徑：DN100-320 mm