>> 技術(shù)參數(shù)

 ◆ 設(shè)備外形尺寸(不包括報(bào)警燈)

   650(W)×900(D)×1600(H)mm

 ◆ 合金鋁真空倉體(約100升)

   450(W)×450(D)×450(H)mm

 ◆ 電極結(jié)構(gòu)

   外置電感耦合電極

 ◆ 等離子發(fā)生器(美國MKS)

   頻率13.56MHZ,功率0-1000W連續(xù)調(diào)節(jié),自動(dòng)阻抗匹配,全電路保護(hù),可連續(xù)長時(shí)間工作

 ◆ 控制系統(tǒng)

   PLC觸摸屏控制,采用歐姆龍、西門子等世界著名品**電器元件，性能穩(wěn)定可靠,并具有手動(dòng)、自動(dòng)兩種模式

 ◆ 真空系統(tǒng)(真空壓力PID閉環(huán)自動(dòng)控制)

   日本愛發(fā)科(ULVAC)機(jī)械真空泵 VDN901 (23L/S)

   臺(tái)灣氣動(dòng)真空角閥、充氣閥、DN40不銹鋼真空波紋管、德國英福康壓力傳感器         

 ◆ 充氣系統(tǒng)

   美國MKS高精度電子質(zhì)量流量計(jì)(四路氣體配制)

   美國世偉洛克SWAGELOK氣體管路及接口組件，德國雙級(jí)減壓閥

   日本SMC及CKD高真空氣閥組件