>> 技術參數
 ◆ 外形尺寸(不包括報警燈)

850(W)×1000(D)×1850(H)mm

 ◆ 倉體結構(約200升)

550(W)×700(D)×530(H)mm

 ◆ 電極面積  

550(W)×700(D)×530(H)mm，14層

 ◆ 等離子發生器(MF)

頻率40KHZ,功率0-3KW連續調節,自動阻抗匹配

 ◆ 控制系統

有邏輯電路半自動控制,采用歐姆龍、西門子等世界著名品**電器元件，性能穩定可靠,并具有手動、自動兩種模式

 ◆ 真空系統

日本愛發科(ULVAC)機械真空泵 VDN901 (23L/S)

進口氣動角閥、充氣閥、DN40不銹鋼真空波紋管，

 德國英福康Inficon高精度真空計、規管

 ◆ 處理氣體

兩路工藝氣體配置(氬氣、氧氣）美國高精度浮子流量計、針閥，

美國世偉洛克Swagelok不銹鋼拋光氣體管